描述

MEEPLIBS可以在微米尺度上做空间分辨的元素分析，实现了与传统的显微镜实现完美结合，标准分析口径大小为15 微米和18微米（可小可做到4微米），可在室温大气环境中测试，也可在特定的环境中测试。广泛应用于半导体材料、面板材料的微米尺度空间分辨率的实时元素分析。

系统特点

LIBS分析与目视检测显微镜的相结合

266nm紫外激光光源 20Hz

分析口径：15µm 或8µm ( 可小可到4µm)

具有配置衰减器的激光光束整形功能

系统中配置摄像机

配置自动三维调节台可用来校准激光

聚焦和对样品进行序列测量

技术参数

激光器类型           脉冲Nd:YAG

波长                 266nm

频率                 20Hz

激发光能量稳定性     ± 5% RMS up to 1mJ (on 100 shots)

波长范围             180to950 nm（取决于所选的光谱仪）

探测器类型           ICCD

激光器出射光直径     15µm or 8µm

探测极限             ppm—几千ppm（取决于所测试元素种类）

数据获取时间         <1%